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什么是掩膜微细电解加工技术《资讯》

发布时间:2020-08-17 12:53:12 阅读: 来源:制棒机厂家

2016-08-31 20:14:31来源: 贤集网

掩膜微细电解加工, 是将光刻技术引入到电化学加工技术中的一种微细电化学加工方法, 能加工出微米甚至亚微米级的复杂形状, 可用于微小孔群、 大规模集成电路、 印刷电路等多种金属薄壁零件和微机械元件的制造,是宇航工业、 微电子工业和微机械工业的重要加工技术之一。

掩模微细电解技术原理是在待加工工件上涂覆光刻胶,经过光刻显影后,涂覆方式可分为单面涂覆跟双面涂覆,需要加工的部分裸露在外面形成一定的图案,然后通过束流电解加工或浸液电解加工, 溶解未被光刻胶保护的裸露部分直到特定的加工深度, 最终加工出所需形状的工件。

由于金属溶解的过程是各向同性的,金属各个方向都会发生溶解, 因此要保证加工的精度就需要对金属的横向溶解等因素进行有效的控制。研究发现掩膜微细电解加工中, 光刻胶的厚度以涂覆的方式对加工过程影响较大。

如果光刻胶涂覆较薄, 则容易发生侧面腐蚀, 而且也容易发生剥落, 影响加工出的工件形状; 如果光刻胶涂覆太厚, 就会使得加工间隙的增大,将会影响加工的效率和精度。

涂覆的方式分为单面涂覆跟双面涂覆, 双面涂覆就是在工件两面都覆盖一层图案完全相同的掩模, 从两个方向同时进行溶解。单面涂覆使得加工侧面具有一定的锥度,而双面涂覆加工出的工件, 侧面垂直度较好,而且加工表面具有比单面涂覆时更好的表面质量。

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